二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600 #9392903 待售

MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600
ID: 9392903
晶圓大小: 5"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 5".
MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600是一種快速熱處理器(RTP),設計用於精確快速地處理光電子和其他器件組件,如紅外線、光電二極管、光子晶體、納米結構,並已開發用於晶圓或芯片刻度處理和選擇性加熱,分辨率為幾um,通常為1-3 um。MPTC RTP-600設計用於執行快速退火、精煉和重結晶等各種快速熱過程(RTP)。模塊化工藝技術RTP-600可用於在高達1100°C的溫度下進行快速熱處理。其核心部件由電加熱室、空氣或氦循環風扇、溫度控制器和RTU(快速熱裝置)組成。冷卻設備由熱電冷卻器、風機和循環泵組成。RTP-600的溫度範圍為0至1100 °C,由高級工藝控制器控制,該控制器具有可編程的高溫坡道/浸泡循環以及專有的用戶定義的氧化、擴散和退火特征。溫度斜坡的頻率可達每分鐘5000度。它還可以容納多種取向晶片和玻璃、陶瓷、金屬等多種基材。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600易於使用,需要最少的安裝和安裝,並且能夠清潔所有關鍵設備參數並提供過程控制,同時保持較低的熱預算和功耗。MPTC RTP-600利用先進的溫度控制器,能夠調節溫度並將其保持在幾度以內。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600附帶了各種各樣的測試模塊,這些模塊具有不同的測試條件,用於研究器件材料的特性,如導熱率、反射率和發射特性等。系統還支持多種設備配置和封裝類型。RTP-600是滿足工藝需求的理想解決方案,可提高工業生產的吞吐量。它經過了領先的設備制造商和工藝實驗室的廣泛測試和認證,能夠保證可重復和準確的結果。這臺機器具有自我診斷單元、易於操作和用戶友好的軟件等功能,是滿足設備打包和測試需求的完美解決方案。
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