二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293595367 待售

MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPTC RTP-600S是一種先進的快速熱處理器，被半導體制造商和研究實驗室用來在大型晶圓上退火、塗料和生長薄膜。MPTC RTP-600S被設計成既作為一個獨立的工具，又作為大型晶圓級熱處理系統的一部分。它使用多個獨立控制的腔室區域來處理直徑達300 mm的樣品。它具有快速的上升/下降功能,非常適合多種類型的高溫過程。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S帶有強大的8kW紅外熱源,能夠達到1250oC的溫度。此外，它還利用專有的反射加熱設備，使系統能夠快速上升或下降，同時保持整個晶圓的均勻溫度。該設備還配備了智能熱控制軟件，用戶可以配置坡道速率和最高溫度，以獲得最佳效果。此外，RTP-600S還采用了一種專利冷卻技術，將工藝室的衰減時間最小化到不到一秒。這樣可以確保快速的流程周轉以提高吞吐量。該機器還配備了多個傳感器和基於PLC的用戶界面，可以精確監測和控制熱過程。最後,考慮到安全性,設計了模塊化工藝技術/MPTC RTP-600S.它帶有火災探測和抑制系統以及緊急關閉工具。此外，它的排氣過濾資產有一個內置的活性炭過濾器，從工藝環境中清除有害物質。總體而言,MPTC RTP-600S是任何尋求可靠快速熱處理器的半導體制造商或研究實驗室的絕佳選擇。其強大的熱源、快速的坡道速率和優越的安全特性，使其成為晶片級高溫處理的理想選擇。