二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #9241026 待售

MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S是為高效熱退火過程而設計的快速熱處理器。MPTC RTP-600S配備單一高速毛細管，可提供超快速退火工藝。模塊化工藝技術RTP-600S用兩個石英燈陣列從工藝室底部加熱半導體基板或晶片，並在幾秒鐘內實現快速熱退火（RTA）溫度。RTP-600S利用線性加熱機制，沿晶片表面提供均勻的加熱和冷卻。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S允許無與倫比的過程控制和準確性,因為它的專利「徑向深層熱點」設計允許精確調整熱退火輪廓。MPTC RTP-600S提供了出色的工藝靈活性，以滿足各種基材的需求和應用要求。這一工藝還支持包括矽、碳化矽和砷化的多種晶片。此外,晶圓的大小和形狀也可以根據應用程序的要求進行定制。直線加熱塊設計與緊湊的晶片載波配合，方便可靠的晶片裝卸。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S控制器能夠處理多個過程請求,並對過程參數（如溫度和時間）提供出色的控制。RTP-600S還集成了一個集成的冷卻風扇，使暖點溫度保持在較低水平。這種集成風扇和使用風冷加熱器有助於減少熱循環時間和減少熱失真。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S工藝室是真空密封的，允許創建接近密封的密封，以防止氣體和水分滲透，並在加工過程中使水分遠離晶片。該工藝還包括車載氣體輸送和排氣系統，以便將受控數量的工藝氣體添加到工藝室內。MPTC RTP-600S是為實現最大的可靠性和魯棒性而設計的,它可以執行500多個可重復的熱循環,而無需精確對準或特殊的工藝設置。此外,MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S遵循安全準則,並通過多個安全協議進行認證。