二手 NEWYOUNG RTA-150H-SP1 #9134152 待售

NEWYOUNG RTA-150H-SP1是一種快速散熱處理器,能夠為各種晶圓尺寸提供準確、可靠和可重復的散熱循環。它旨在滿足所有半導體制造工藝的要求，包括晶圓切丁、晶圓制造和晶圓級裝配。它是一個全面的熱處理解決方案，非常適合高容量和高級應用，例如生產高功率或低功率設備。RTA-150H-SP1有一個多區域溫度控制設備，每個區域的溫度都是快速可控的，這樣就可以得到統一和可重復的結果。處理器配有雙區饋線系統，用於熱處理前的手動或自動晶圓分選。該單元允許在晶片裝卸過程中進行精確的定時和區域控制，確保準確性和可重復性。采用雙區進紙機，可根據晶圓尺寸自動選擇最佳熱循環。該機器還包括一個五傳感器保護工具，防止晶片過熱或過冷，確保最佳溫度精度和可重復性。NEWYOUNG RTA-150H-SP1的工藝室容積為300升，工藝壓力範圍為1-10 Torr。它提供20-250°C的可調可變溫度範圍工藝窗口,可選配700°C。可編程斜坡速率範圍為30-600°C/秒，包括動態溫度限制器和歇斯底裏，以增強溫度可重復性。可自定義的流程控制器最多存儲10個程序,總流程參數最多為500個步驟。該機器有一個可選的遠程io-Link控制資產,允許對過程進行監視,並記錄來自工藝室外部的溫度、壓力和氣流的數據。總體而言,RTA-150H-SP1是一個可靠而堅固的熱處理解決方案,可為各種參數提供準確性和靈活性。其獨立的雙區饋線模型確保了晶片級處理的可靠性和可重復性，而先進的五傳感器保護設備則確保了最佳的溫度精度和可重復性。該處理器具有可調、可變溫度範圍的工藝窗口和可定制的工藝控制器,是各種應用的絕佳選擇,包括生產高功率或低功率設備。