二手 NPS RHP150 Plus #293603754 待售

NPS RHP150 Plus是專為大批量生產應用而設計的快速熱處理器（RTP）。它是NPS系列快速熱處理產品中的最新產品,提供了改進的熱均勻性和腔室容量,以及改進的過程控制和優化的熱生產率。RHP150 Plus是一個基於腔室的RTP平臺,具有四個獨立控制的區域,用於各種熱過程,包括晶圓和WLCSP退火、稀釋和吸氣。每個區域由一對功能強大、並聯安裝的石英散熱器驅動，系統使用數字溫度控制器保持恒溫。加熱元件設計可靠、運行穩定，坡道時間短，凈空寬廣，可用於高熱過程。NPS RHP150 Plus設計具有用戶友好的功能,可最大程度地減少手動幹預和最小化處理時間,使其適合批量生產。集成的晶圓傳輸系統允許快速、可重復的晶圓裝卸，而先進的Allen-Bradley PLC控制器則提供對所有熱過程的用戶友好控制。此外,NPS還提供多種軟件包,以優化散熱性能並促進交互式流程開發。RHP150 Plus還可以提供比常規的生產RTP系統更好的過程控制和一致性。采用三點區域溫度剖面,以確保整個腔室的均勻性,大大降低可變性,並消除RTP後熱處理的需要。此外，利用高速紅外成像對熱過程中的晶圓溫度進行實時監測，從而在不幹擾腔室環境的情況下實現快速準確的工藝驗證。NPS RHP150 Plus是大批量生產應用程序的理想選擇,它提供了一致、可重復的熱處理過程,同時減少了與傳統批處理式熱處理相關的工作量和成本。憑借其先進的特性和靈活性,RHP150 Plus非常適合批量生產關鍵散熱元件。