二手 NPS RHP440 #293766899 待售

NPS RHP440快速熱處理器（RTP）是一種先進的熱處理設備,用於半導體生產過程中.它能夠在短短幾秒鐘內將晶片快速精確地熱循環到-40°C至600°C的溫度，從而實現快速的熱退火和擴散過程。NPS RHP 440是一種水平熱處理器，在晶片表面上提供高水平的溫度均勻性，其最高溫度均勻性在其4英寸矽晶片上± 3°C。它配備了激光幹涉儀，提供高精度的恒溫控制，使矽晶片表面具有可重復的溫度性能。RHP440還設計為與其他工藝設備集成,如蝕刻或沈積。RHP 440包含先進的安全功能，以保護人員和設備。它配有熱電偶陣列，用於監測矽片在快速熱循環過程中的表面溫度，以及計算機自動聯鎖系統，如果檢測到不安全的情況，將自動關閉設備。此外,機器還具有多個溫度和壓力傳感器,用於檢測環境的突然變化並向操作員發出警報。NPS RHP440擁有一系列功能和優勢,使其成為半導體生產過程中的最佳選擇。它具有僅30毫秒的超低熱延遲時間,允許快速熱循環以滿足緊張的生產周期。此外，該工具具有先進的固有區域定位資產，可提高半導體生產過程的溫度均勻性和準確性。此外，由於其高質量的部件和結構，它極其可靠和耐用。總而言之，NPS RHP 440 RTP是一種先進的熱處理模型，旨在滿足半導體生產過程中最苛刻的要求。其快速的熱循環時間、精確的溫度控制以及集成的安全特性，使其成為半導體生產的理想選擇。