二手 PEAK SYSTEMS ALP 5000 #9223657 待售

ID: 9223657
Rapid Thermal Processor (RTP) system.
PEAK SYSTEMS ALP 5000是一種快速熱處理器(RTP),設計用於晶圓的精確和可重復熱處理。該設備利用三個獨立的熱過程按順序工作,以最高效率創建高性能的生產過程。初始過程是晶片的直接激發,這是利用晶片下方電阻加熱元件的快速閃爍實現的。這將在晶圓的寬度上創建一個統一的、受控的熱剖面,從而可以在晶圓內精確地放置熱激發區。第二個過程是一個循序漸進的熱斜坡過程,預定義並編程到系統中,允許加熱和冷卻周期被微調到一個特定的過程。在第三個也是最後一個過程中,應用了一系列的回流步驟來創建一個高精度、均勻的溫度分布在晶圓表面。這樣可以確保設備中處理的所有晶片的熱圖樣輪廓一致,從而消除任何變化或不受控制的溫度變化。該機操作方便,設計具有多種可定制的功能,包括預置熱斜坡序列的用戶定義參數和可調節溫度設定點。它還為用戶提供了一系列編程選項,允許輸入晶圓的熱特性和溫度範圍。程序中包含一個附加的安全功能,可隨時監控晶圓的溫度,從而確保安全性和可靠性。ALP 5000為快速熱處理提供了廣泛的選項,允許用戶根據自己的特定需求定制過程。它的靈活性和準確性確保了熱剖面和熱斜坡序列的精確度,使用戶能夠以最小的努力最大限度地提高其工藝性能。可以調整流程以優化性能,從而創建符合現代電子元件制造需求的成本效益驅動解決方案。
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