二手 PREMTEK RTP 381 SA #9312338 待售

PREMTEK RTP 381 SA是一款先進的快速熱處理器,旨在通過優化的周期時間提供卓越的性能。RTP 381 SA利用專有的閉環熱控系統和先進的功率調節能力，提供精確的熱穩定性，實現了較高的熱傳輸率。該設備可加工直徑不超過200毫米、高度不超過25毫米的晶片。它旨在提供可重復、可靠的熱控制，以實現高精度的熱處理。該系統采用低氮壓退火（LNPA）,具有可編程的加熱和冷卻特性.它的溫度範圍高達1300 °C，在斜坡上升和冷卻周期中可以達到高達1500瓦的峰值功率水平。連續流動淋浴板允許晶圓表面的溫度分布均勻，從而提高了工藝均勻性。此外，該裝置有一個集成的雙臂空氣位移單元，在晶圓表面的不同位置提供均勻的熱通量。PREMTEK RTP 381 SA可應用於多種基材材料如矽、砷化氙和其他半導體材料。該裝置具有先進的安全控制，以減少意外過度回火或危險崩潰的可能性。此外，RTP 381 SA利用有源力傳感器對晶圓溫度進行實時監測，包括熱失控保護。PREMTEK RTP 381 SA具有多種功能集以提高效率並提供優化的過程周期。這些特性包括可編程內存模式、多級溫度歷史記錄、高分辨率溫度標記、移位模式和斑點模式溫度校正、標線模式溫度校正。此外,還可以對設備進行進一步定制,以適應特定的流程需求,從而在不影響準確性的情況下提供最高性能。