二手 Q-THERM / JIPELEC JetFirst #9254046 待售
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ID: 9254046
優質的: 2001
Rapid Thermal Processor (RTP)
Substrate holder, 2"
Can be upgrade to 4"
2001 vintage.
Q-THERM/JIPELEC JetFirst是為半導體器件的高速熱處理而設計的快速熱處理器。這種高度精確的熱處理設備的溫度從1攝氏度/秒到4攝氏度/秒不等,其出色的熱精度和準確性使其成為許多測量和制造過程所必需的工具。Q-THERM JetFirst設備由幾個主要部件組成。其中包括熱卡盤和電動機、熱塊、冷卻塊、加熱器棒、溫度控制塊和集成控制系統。熱卡盤是一個固定的部件,用於固定要加工的基板。它由高導熱合金制成,用於對基板提供一致、高質量的熱控制。馬達用於旋轉熱卡盤,以確保整個基板表面的溫度均勻。使用熱塊和冷卻塊,然後將設備冷卻或加熱到所需溫度。加熱器棒對半導體基板施加預先設計的熱剖面,溫度控制塊在達到所需溫度後保持熱剖面。綜合控制單位負責全程監控。JIPELEC JetFirst機可用於加工矽、玻璃、金屬和其他基板。也可用於快速熱退火(RTA)、快速熱處理(RTP)、階梯加熱或斜坡,以及先進的溫度剖面。這些功能使得它非常適合各種應用,包括結晶、氧化、沈積和摻雜。JetFirst工具提供卓越的性能和準確性。它具有多種安全特性,包括高度可靠的加熱傳感器、超溫監測和報警功能。此外,資產還具有易於使用的圖形界面,可以輕松直觀地進行控制。總體而言,Q-THERM/JIPELEC JetFirst熱處理器是半導體器件熱處理的有效工具。它可以以最高的精度和精確度處理1°C/秒至4°C/秒的溫度,並提供多種適合多種應用的功能。Q-THERM JetFirst機型憑借其用戶友好的界面和全面的安全功能,為更快、更準確、更可靠的熱處理提供了絕佳平臺。
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