二手 SSI Solaris 150 #9268077 待售

SSI Solaris 150是一款快速散熱處理器,專為各種研究和工業應用而設計。它在-150°C至1000°C的寬溫度範圍內提供出色且均勻的晶圓加熱，具有快速的坡度速率。它提供了緊湊的設計和精確的機器人晶片處理設備，使其能夠支持各種晶片尺寸（2"、3"、4"、5"和6"），並快速重新配置用於單個晶片或批量操作。Solaris 150采用先進的PID控制晶片加熱設計，采用固態燈耦合系統，用於均勻和可重復的熱處理。它可以達到超過20°C/sec的高溫斜坡速率，而且還有一個集成的光學高溫計，有助於精確測量晶圓溫度。內置的基於Windows的軟件通過可編程配方選項提供了完整的過程控制靈活性。SSI Solaris 150具有可定制的控制體系結構,可用於快速校準和配方開發。它擁有具有直觀觸摸屏控件的高清數字彩色顯示屏，因此用戶可以快速輕松地監控和配置設備。這臺RTP機器還具有靈活的通信體系結構，可以通過以太網或PC進行連接，從而可以對進程進行遠程監控。Solaris 150被設計為執行退火、氮化、氧化、擴散、重結晶、金屬沈積和去沈積等各種過程，以滿足光子學、MEMS、RF和微電子應用的嚴格質量要求。它成本低、占地面積小、一致性高,非常適合研究實驗室、大學和小型生產設施。為了獲得卓越的性能和可靠性,SSI Solaris 150具有先進的安全功能,包括保護性金屬護罩和安全互鎖,可防止晶圓在電源故障時傳輸。它還有一個先進的凈化工具，有助於提高加工晶片的質量，也有助於減少汙染的可能性。