二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169 待售
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ID: 9193169
晶圓大小: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Helios是一種快速熱處理器（RTP）,旨在快速準確地促進各種材料的熱處理。利用一種稱為快速熱處理（RTP）的技術，它可以快速地上升和冷卻基板和材料，並進行各種精確的熱處理。這款RTP背後先進的技術設計使其能夠快速操縱50°C至1300°C的溫度。此外，該設備能夠在短短兩秒內做到這一點，使其成為快速處理許多不同材料的非常可靠的工具。AST Helios提供高質量、均勻的高純度大氣層底物熱處理以及各種其他工藝大氣層。該系統還能夠在大型基片上保持良好的熱均勻性，確保許多基片材料，包括金屬、聚合物以及矽和矽基化合物的可靠和可重復的結果。此外，該裝置還配備了先進的光學高溫計和定制的金屬鹵化物弧光燈，可提供出色的工藝控制和監控水平，確保所有熱處理都易於重復和準確。這進一步使用戶能夠監測和應對突然的溫度變化，以確保基材在處理期間保持在最佳狀態。該機也因其戰略構造而具有固有的堅固性。其工業級減振器和精密的機械臺式運動系統確保了該過程的準確高效地進行。總體而言,STEAG Helios是一款可靠且高效的快速熱處理器,可用於各種材料加工和研究項目。它的精確度、速度、重復性和有效性，對於那些尋求可靠準確的熱處理方法的人來說，都是值得投資的。
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