二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9235480 待售

STEAG/AST/MATTSON Helios是一種快速熱處理器,利用精確的熱控制實現晶圓基板的高通量熱處理。AST Helios是為滿足最嚴格的工業計量要求而設計的，並且是唯一提供基板全自動精確放置和單個晶片快速退火時間的可用設備。該系統采用先進的跟蹤技術來測量和跟蹤基板在加工過程中的溫度和位置。STEAG Helios是一款高性能的快速熱處理器,包括退火模塊和裝卸模塊。退火模塊包括高分辨率差分掃描量熱計（DSC）和感應加熱單元，共同提供精確的溫度控制。該機還利用先進的6軸運動控制平臺在退火過程中精確定位樣品，以及精密的軟件來控制過程。Helios的裝卸模塊利用機械臂將樣品從盒式磁帶運到退火階段，然後再運回。本模塊還包括可識別樣品位置並確保基板準確和可重復定位的集成視覺工具,以及用於確保樣品完整性的終端效應傳感器。MATTSON Helios還包括一個完全集成的環境室，用於自動大氣控制。這個環境室有多個在處理過程中控制大氣和氣體流量的腔室，一個高壓供氣資產，以及可編程的溫濕度控制。環境室還包括溫度監測模型，用於監測室內環境的均勻性。最後,STEAG/AST/MATTSON Helios利用自動化的用戶界面,提供易於使用的圖形界面來控制設備。這個用戶界面還包括一個集成的軟件套件，允許在熱處理周期中對數據進行捕獲、遠程控制和分析。軟件套件還包括優化退火周期的工具，以及對溫度和位置的實時監控。總體而言，AST Helios是一種高度優化的快速熱處理器，為晶圓基板提供精確的熱控制。該系統旨在滿足最嚴格的工業計量要求，其集成的自動化和先進的軟件功能使其成為高通量熱處理的理想解決方案。