二手 STEAG / MATTSON / AST 100 #9190168 待售

STEAG/MATTSON/AST 100快速熱處理器是為各種研究和工業應用而設計的先進熱處理設備。采用單級單室方法，在樣品和基板之間提供快速熱處理和直接熱傳遞。系統使用電阻加熱元件，其獨特的架構提供了廣泛的熱和過程參數。這使設備能夠滿足各種熱處理應用的要求。機器使用高溫、低導熱率的石英室，創造出熱隔離的環境。熱穩定性和低熱質量是這種設計最重要的兩個特點。腔室確保樣品均勻加熱，而其低質量和高導熱系數保證了快速的溫度響應。該腔室還允許快速加熱和冷卻循環，使其適合快速熱處理和退火應用。該工具包括開發計算機、石英爐、電阻加熱元件、溫度、壓力和流量傳感器以及控制資產。它配備了用於溫度控制的PID控制環路，以及額外的控制功能，如過程計時器、壓力控制和過程監視器。該模型還能夠控制額外的樣品負載。該設備能夠提供精確的溫度控制和加熱剖面，即使在極端溫度下也是如此。它能夠加工金屬、聚合物、半導體材料等多種底物。它也可以用於RTP和快速退火，以及廣泛的其他快速熱處理應用。AST 100是先進熱處理應用的理想系統。其單級、單室架構提供了極佳的工藝控制和極端溫度下的熱穩定性。其獨特的設計還允許精確的溫度控制和加熱剖面，使其適合各種加工應用。