二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 待售
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ID: 9139817
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
RTP System, 8"
System power: 43kw,208V, 60Hz
Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42
Front door type: Auto
Chamber door type: Cylinder type
Carrier stage rotation: Rotation
Monitor front / rear: 2EA
Gem interface
4-Color signal tower
UPS System
(2) Gas inlet: Bottom
Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage
Total: 5EA 2 1 2
Gas system Model Gas Name Scale
MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302)
MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702)
MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602)
MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802)
MFC5
IPC Module: Booting check
ILC Module:
Power Supply check
PWM Board 1,2 Check
POD Board check
INT Board check
MIB Board check
SEC Board check
EPC486 Hard drive check
Control rack 1:
EOCU(ECCU) Board check
BLCU Board check
MCU Board check
Power supply check (1~4)
Control rack 2:
LCCU Board check
LCL 1,2 Board check
SMB Board Check
SLSU Board 1,2 check
LVU Board check
LCU Board X2 check
WCU Board U check
TCA Module check
Control rack 3:
PCU Board check
PDCU Board check
PIO Board check
PDU Board check
PSU Board check
PVC Board check
PVU Module check
WVU Board check
DVU Module check
Robot:
Controller check
Moving check
Aligner:
Controller check
Align check
O2 Analyzer:
Display unit check
Sensor unit check
Pyrometer check
Terminal box check
Lamp: Fail check (1 ~ 38 )
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon是一種快速熱處理器（RTP），用於半導體和電子工業，用於設備處理的高效吞吐量。通過利用先進的冷熱處理能力，AST 2800 Epsilon能夠對設備結構和基板進行精密的熱處理。它實現了高質量的結果，同時最大限度地減少了時間和成本。STEAG 2800 Epsilon設有兩個獨立的熱處理室，每個室可達到高達1100 °C的溫度。每個腔室還配備了最新的基板加熱、冷卻和熱循環能力。這樣就可以實現各種各樣的熱剖面。2800 Epsilon的精確度和精確度通過先進的溫度控制系統和反饋探針來保證。在過程執行過程中,在腔室的頂部、底部和側面提供溫度讀數,從而消除潛在的不均勻加熱。MATTSON 2800 Epsilon的加工室中可以使用多種容器類型。這包括石英、鋁、陶瓷和玻璃容器。腔室內的對準銷防止容器在過程中旋轉。兩個腔室的工藝流體都可以過濾，以保護容器壁免受雜質的侵害。這是用各種過濾器完成的，如金屬過濾器、膜過濾器和膜過濾器，可以就地安裝。STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon的加熱和冷卻系統旨在提供快速、均勻的熱處理。借助高性能控制器，兩個腔室都能以極高的精度獨立控制其溫度和時序。這種同時設計可以節省時間和精力,從而實現更快、更高效的熱處理。AST 2800 Epsilon還通過集成的數字控制系統提供遠程監控和操作的靈活性,這些系統提供各種系統數據日誌、關鍵錯誤警報和其他功能。它還提供了一個高級用戶界面，便於使用。總體而言,STEAG 2800 Epsilon是一種先進的RTP,能夠對各種基材和設備結構提供均勻、快速和精確的熱處理。通過其強大的控制器、快速的熱循環和簡單的用戶界面,它為設備處理提供了一個節能且經濟實惠的解決方案。
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