二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9195879 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon是為高通量操作而設計的高級熱處理器。它是一種緊湊、獨立的儀器，具有單機平臺，具有熱壁爐、晶圓轉移機器人和控制器。這款快速熱處理器非常適合研究和生產要求,它利用精確的溫度控制來確保結果一致。AST 2800 Epsilon采用熱墻設計，配有24個高能石英燈。該裝置用於快速熱退火，提供均勻的熱量分布在晶片上，以增強沈積均勻性。這些燈被放置在一個門控的配置，以允許更高的溫度和更一致的均勻性。STEAG 2800 Epsilon可以達到600攝氏度的溫度，並將溫度控制精度保持在1 °C以內。MATTSON 2800 Epsilon中包含的晶圓傳輸機器人能夠處理20mm x 150 mm晶圓尺寸，最大負載容量為50g。這種機器人確保晶片的可靠和準確的處理，即使在高速，為更順暢和更快的樣品處理。此外,2800 Epsilon還具有先進的溫度和真空控制系統,旨在最大程度地減少熱不均勻性。STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon的高級控制器允許用戶使用所有基本參數存儲多達20種配方。這包括循環時間、輪廓設定點、冷卻速率和其他關鍵工藝參數。用戶友好的圖形觸摸屏支持簡單直觀的操作。AST 2800 Epsilon是晶片快速熱處理的理想解決方案。憑借其精確加熱能力、自動晶片傳輸以及直觀的控制器，這款快速熱處理器設計出了最大的效率和準確性。