二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529 待售

AST/STEAG/MATTSON/AST 2800是一種高速快速熱處理器,利用先進的熱處理和先進的冷卻技術對先進的微電子材料進行精確的控制和處理。這項技術提供快速的熱斜坡速率、精確的溫度控制和嚴密的均勻性性能以及快速的冷卻時間。AST 2800設計用於氧化物沈積蝕刻、擴散、退火、光刻、測試等多種高溫應用。該設備采用獨特的X-Y控制晶片定位系統，允許在過程周期中進行精確的熱處理而無需外部運動。STEAG AST2800還具有四個先進的熱區和四個垂直氣體噴射缸，以便在過程中精確輸送氣體。STEAG 2800利用先進的微處理和儀器設備提供可靠、可重復的性能。微處理機以先進的溫度、坡道和循環編程提供高速、精確的熱控制。儀器工具提供溫度、溫度均勻性、SOI（目標表面）溫度和氣體壓力的精確監測和控制。MATTSON 2800設計為在10級潔凈室環境中運行。它旨在確保在非常嚴格的溫度均勻性公差範圍內實現準確和可重復的性能。該資產還能夠處理各種基材尺寸，並與各種晶圓處理系統兼容。STEAG/MATTSON/AST AST2800提供多種溫度控制方法,包括溫度算法控制。該算法用於補償時變熱過程中熱響應的差異。該模型還提供了一系列的溫度調節方法，包括加熱、冷卻和智能溫度控制。2800是先進微電子材料的先進熱處理器。其高速、精確的溫度控制，加上量身定制的熱坡道和循環規劃，使其成為各種高溫過程的理想工具。