二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290 待售
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已售出
ID: 9038290
優質的: 1996
Rapid thermal processor, 2" - 8"
Includes:
(3) Cool down stations
(1) Dummy load station
(1) Touch screen
Automatic doors, foot control
Software: NT Windows
Mass Flow Controllers:
Brooks 5964 / 10 SLPM / N20
Brooks 5964 / 10 SLPM / Argon
Unit 8160 / 30L / N2
Brooks 5964 / 10 SLPM / Oxygen
Gas Plumbed: N2 – Argon – N2 – O2
Controller: EEOCU / BLCU / delta U1 / delta U1 / delta U1, 2 & 3 / delta U1 / MCU
Control rack extension board: LCCU / LCL / LCL / TCA
Pneumatic board: WCU / WCU / PCU / PDCU / PIO / PDU / PSU / PVC / PVU / PVU / WVU / DVU
PMW Generator: Delta V 1-4 / PWM 1 & 2 / POD / INT / CB / MIB / GPC 486 Connections / SEC
Heating unit: PWD
PRI Robot: ATM-305010S & PRI Controller ESC-200
Brooks Pre Aligner PRE 201
EMO Front & Rear
Optical Pyrometry
Vent pressure monitoring
DC Stabilization
Single lamp control
Open loop control
Thru the wall
208 V / 60 Hz / 3 Ph / 43 kW
1996 vintage.
STEAG/MATTS/AST 2800是一種快速熱處理器（RTP），設計用於研發和晶圓生產。它是一種多模工具，能夠進行氧化、退火、擴散、濺射等幾種熱過程。AST 2800利用兩個工藝室，一個裝有感應線圈，另一個裝有紅外源，每個都是獨立控制的。STEAG AST2800的主要特點是高溫和快速處理能力。線圈和紅外光源能夠利用快速熱處理將晶圓或基板的溫度分別提高到1000 °C和1500 °C。較高的加工溫度允許快速而精確的底物修改，如矽化和相變。MATTSON 2800還配備了先進的控制系統。它采用Vacuumschmelze先進的微處理器技術進行設計，在最小的操作員幹預下實現精確的溫度和時間控制。先進的控制系統還有助於在整個過程中保持溫度的均勻性，從而確保最終產品的均勻性。此外,STEAG/MATTSON/AST AST2800是一個多功能系統,能夠同時執行多個進程。它有一個雙快速熱區，可以同時進行兩個過程。此功能允許有效利用時間和資源,因為處理吞吐量可以通過同時執行多個進程來大幅提高。AST AST2800還配備了一個全面的軟件平臺,能夠輕松操作。軟件平臺提供實時的過程控制數據、詳細的晶圓歷史跟蹤、配方和過程存檔。這樣可以確保晶片的順利處理和更好地控制每個工藝的參數。總體而言,AST2800是一款可靠且高度先進的快速散熱處理器,可提供卓越的精度、溫度可重復性和吞吐量。由於其高溫、快速循環和徹底的過程控制功能,它對於各種應用程序和過程極為有用。
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