二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9092796 待售

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STEAG / MATTSON / AST 2800
已售出
ID: 9092796
Rapid thermal annealer.
STEAG/MATTS/AST 2800是一種快速熱處理器(RTP),用於半導體器件的快速熱退火。該設備采用高效傳熱系統,保證了精確、均勻的溫度分布。該機配備了先進的控制系統,以監測和維持理想溫度。該機設計為在整個晶片上提供均勻的溫度剖面,並配有先進的溫度剖面工具,以保證熱均勻性。資產先進高效的熱模型采用多級傳熱階段,達到理想溫度。通過這種配置,設備可以加熱最大500 (w mm)/100 (w mm2)的寬表面積。該系統設計為熱質量低,可最大限度地減少熱響應時間,以提高吞吐量和快速處理速度。該單元還設計了多項安全功能。這包括故障安全的環境控制機器,它允許工具在非典型的過程環境中安全操作。它還具有自動關閉系統,確保在發生緊急情況時資產關閉,以及用於檢測和檢測過程氣體異常的壓力傳感器。在性能方面,該模型具有高效的溫度控制設備和高效的溫度曲線。它還專門設計用於允許在整個過程中具有很高的可重復性和準確性。此外,系統采用模塊化設計,可以在幾秒鐘內在不同退火技術之間過渡。總體而言,AST 2800是一款用途廣泛且高效的快速散熱處理器,旨在提供卓越的性能和可靠的操作。它具有強大的安全特性、先進的熱控制和高效的傳熱裝置,非常適合廣泛的半導體應用。
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