二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9154640 待售

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ID: 9154640
晶圓大小: 6"
Standalone RTP system, 6" 208V 43KW Robot: ESC-305 Aligner: PRE-200 Gas line: 6 lines IPC O/S: WIN 2000 (38) Lamps Pyrometer : Dr Maurer ILC version : ILC3 SHSp software ver : 1.6.1.
STEAG/MATTSON/AST 2800快速熱處理器(RTP)是實驗室中對各種材料進行快速精確溫度控制的設備,從薄膜和半導體到金屬和聚合物材料。AST 2800提供快速加熱和精確的溫度控制,反應室溫度高達1300 °C (2370 °F)。該裝置是一種惰性大氣、集成、N2環境配置緊湊的處理器,帶有20英寸垂直或水平石英管。加熱設備是18kW感應/微波頻率,允許在10分鐘左右從室溫到最高溫度的單程加熱。溫度最大變化率高達800°C/min。該裝置還配備了用於控制氧化和氮化過程的先進氣體給藥系統。STEAG AST2800可在開放或封閉循環中使用,具體取決於工藝,溫度用鉑金電阻溫度計監測和控制。該裝置還可用於使用熱電診斷探針原位測量材料特性,如電阻、發射率、電導率等。該單元由計算機接口控制,用於數據輸入、輸出和編程,並具有完整的機器管理和連接。STEAG 2800還具有一些防止過熱和元件燒壞的安全功能,例如自動關閉和/或可編程過熱保護。該裝置由於溫度精度高,熱控精度高,特別適合材料研發。總體而言,MATTSON AST2800 Rapid Thermal Processor是一種先進的設備,可為實驗室提供各種材料的溫度控制方面的高度精確和提高的速度。其特點,如快速加熱、氣體劑量工具、安全特性,使2800成為可靠高效的研發工具。
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