二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557 待售

STEAG/MATTS/AST 2800是一種快速熱處理器（RTP），設計用於高溫退火和光刻工藝。該設備采用高功率微波源和專門設計的石墨敏感器，以實現薄膜材料的快速局部加熱。RTP提供50-600°C範圍內的均勻溫度剖面，最大熱暴露時間低至2ms。它還能夠在各種尺寸不超過2mm的小型樣品中重復溫度分布。該系統采用了一個專門設計的應用室，配有符合人體工程學的樣品密封裝置。這為快速處理提供了一個高效、安全的環境，並有助於確保精確的溫度控制而無需樣品移動。為進一步提高精度，該機采用了一系列精確的運動控制元件和反饋機制。單機CCD成像工具可用於監測熱處理過程中的樣品進展。光學資產具有廣闊的視野（最大40°）和較大的像素大小,允許快速變化的熱特性的高分辨率成像。此外,高動態範圍模型允許對多個區域進行溫度映射。RTP兼容多種創新的薄膜材料和應用。適用於多晶矽、氮化矽、二氧化矽等材料進行高溫退火和光刻工藝。此外，它還非常適合進行快速瞬態溫度實驗，以測量各種薄膜的熱沖擊，並快速確定各種熱處理技術的最佳退火時間。最後，開發了RTP，以提供出色的設備穩定性，具有高度的控制精度和結果的可重復性。該系統還具有低功耗和低噪聲操作功能，非常適合敏感實驗室應用。