二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800是一種快速熱處理器,旨在為材料提供全自動熱處理解決方案。該處理器為一系列半導體工藝提供了先進的熱均勻化、氧化/還原功能以及快速熱循環。其高速數據收集和報告系統確保了結果的可重復性和改進的系統控制。該快速熱處理器由GaAs晶片加熱器、熱電冷卻器、H-Bridge控制器、應用控制和過程監控組成。使用這些組件,處理器能夠在處理和退火周期中為單個或多個晶片提供高級熱調節。它提供精確的溫度規劃,範圍從-160°C到+850 °C。在整個周期中,通過高精度的溫度控制來實現整個晶圓的低熱梯度。處理器在一次運行中最多可容納9個堆疊的晶片或基板,或以12種不同的速率和能量進行多次運行。此外,集成傳感器還提供實時數據來監視熱過程,從而實現更嚴格的過程控制。此數據還可用於更新流程參數和創建預測模型以獲得最佳流程結果。系統配備了AutoTune軟件，幫助優化的不僅是核心工藝參數，還有加熱器類型、加熱器功率、加熱器速度。另外，選擇性邊緣加熱功能有助於加熱晶圓邊緣的鈍化，從而防止介電完整性問題。AST 2800的自動化系統控制和監控能力使其成為光伏和LED生產中快速熱處理應用的理想選擇。多合一設計簡化了設置、操作和過程驗證,並確保了可重復和可靠的結果。此外,該處理器還可以與現有生產線集成,從而實現溫度感測和控制的完全集成。