二手 STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115 待售
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ID: 9103115
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
Single chamber
(2) Loaders
(2) Unloaders
DC Power supply output stability: < 0.2 % at main power
Open cassette, 8"
Cassette rotate: Load / Unload position disable
Wafer transfer: EQUIPE Robot
Flat aligner: EQUIPE Aligner
Operator panel: Touch screen LCD, 12"
Operating system: Windows NT
Process temperature range: 550°C ~ 1150°C
Temperature reading sensor: Pyrometer
O2 Contamination measurement sensor
Gas lines:
N2 (30 slm)
O2 (500 sccm)
Ar (10 slm)
NH3 (10 slm)
Air valve
MFC
Filter
Regulator
Signal tower
Power supply: 208 VAC ±6%, 125 Amp, 3 Phase + PE 43 kVA
1994 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800E快速熱處理器（RTP）是開發和測試各種封裝設備的一站式熱處理解決方案。該設備具有廣泛的工藝溫度（200-1000 °C）、快速的循環時間（低至3秒）和可靠的溫度控制,可提供可靠性和一致的性能。RTP專為易於使用而設計,具有兩個獨立的溫度區域,一個PLC控制系統,以及具有自動配方選擇功能的直觀軟件。該設備經過CSA認證,符合SEMI E 63和E77標準。機器的模塊化設計使得它非常適合各種應用，包括：RTP-LIN高達1000 °C；工藝優化調試；HTOL電熱應力測試（HTEST）；OTA Studies；EMISS/CIS測試；和模對模互連。具有直觀用戶界面的LED顯示屏，對所有參數的全面監控，靈活的編程功能，為用戶提供實時監控能力。RTP可調整為一系列配置選項,例如晶圓大小、各種處理室和自動加載/卸載系統。集成真空泵機構可實現高達1000 °C的工藝溫度。RTP采用了專利的「一對一」對流外套，其中內部溫度曲線與傳統的、有限的腔室設計非常均勻。使用此臨界腔可確保整個晶片的溫度變化小於0.25 °C。RTP還配備了先進的電氣清潔工具，以避免離子粒子和水的任何汙染。排氣裝置采用自動除濾和A/C冷凝器分離。RTP配備了「僅幹」保護，避免使用液體冷卻。RTP還附帶了一系列流程選項：RTP-HTOL、RTP-STOL、RTP-HTOLES、RTP-LINC、RTP-TABLE、RTP-HSO。這些選項可用於各種工藝組合,如高溫坡道、高達1000 °C的高真空快速熱退火、電遷移、HTOL、高達1000 °C的單晶片快速熱處理、用於加熱和冷卻的低溫烤箱。總體而言,AST 2800E快速熱處理器是滿足各種熱處理需求的可靠解決方案。它具有高溫度性能,循環時間快,溫度控制可靠,性能高,設計可靠,可重復執行。
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