二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9182434 待售

STEAG/MATTSON/AST 2900快速熱處理器（RTP）是一種先進的高溫處理工具，設計用於各種高溫過程。RTP能夠快速達到300 °C至1200 °C的溫度範圍（視特定型號而定），最大斜坡速率為300 °C/秒。該系統由四個主要組成部分組成：輸送機、爐膛、熱處理器和冷卻站。RTP輸送機設計為可接受各種基板尺寸,其定制設計可用於容納非標準基板。輸送機提供了一種可靠、可重復的材料通過RTP熱剖面傳輸的方法。輸送機的運動通過閉環微處理器進行控制,該微處理器具有速度、加速度/減速和方向的可調設置。最大皮帶速度超過630毫米/秒。44英寸長的爐膛能夠容納多種尺寸的基板，並裝在內部絕緣3英寸的水冷石英管內。爐膛和基板隨著溫度的升高和降低而封閉在爐內。該爐達到300 °C至1200 °C的溫度範圍，精度為+/-1 °C，能夠實現高達300 °C/秒的快速溫度斜坡。RTP熱處理器配備了三個獨立控制環路的套件。每個回路都保留對自身參數如溫度、浸泡時間和坡道速率的控制。三個控制環並行運行，可以針對每個基板尺寸和工藝分別進行調整。RTP允許多種溫度配置文件,具有可調節的停留時間、預先清除的氣氛和修剪的氣氛,允許適用於廣泛應用的多功能配置。最後，冷卻站設計為在從RTP排出之前，將材料冷卻到安全、合適的處理溫度。冷卻速率是可調的,允許不同的冷卻型材適合特定的應用。總之,AST 2900快速熱處理器是一種高度可配置、可靠且可重復的處理工具,適用於各種高溫過程。其先進的特點和溫度範圍使其成為各種制造應用的絕佳選擇。