二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563 待售

STEAG/MATTSON/AST 2900是為優化過程開發和性能而設計的高端快速熱處理設備（RTP）。它具有快速熱退火（RTA）和快速熱氧化（RTO）兩個階段的過程，為用戶提供了快速控制加工參數和優化工藝的靈活性。該系統非常適合在一系列與微電子、電子包裝和半導體制造有關的專門工藝中的商業、原型和研究應用。AST 2900為用戶提供了令人印象深刻的處理能力和速度組合,使他們能夠快速調整參數並高效地完成處理任務。該裝置上的TPA溫度室設計為溫度均勻性和柔韌性。它具有高達150°C/sec的可調加熱速率，可在高達1000 °C的溫度下進行快速熱退火（RTA）或快速熱氧化（RTO）。其溫室均勻對比度≤1.25°C，溫度均勻度（TU）為2.25 °C或更高。機器使用閉環氣體分析單元檢測和調整快速熱氧化（RTO）所需的氧氣流入。這種獨立的熱和氣流控制工具非常適合降低氧氣/氮氣的通量速率，將除氣降至所需的消耗水平，以準確確定TOX和RTO的要求。STEAG 2900的快速熱處理能力進一步得到其工藝和爐控制參數的可編程選擇的補充：靜態壓力控制、高壓氣體控制、溫度、氣流、安培/功率控制和頻率控制。此控制選項範圍允許用戶調整進程以獲得最佳結果。該資產還具有高級數據記錄和繪圖功能,旨在早期監控模型性能並檢測流程異常。用戶友好的圖形用戶界面（GUI）提供對RTP過程的實時監控,從而實現快速有效的診斷。總體而言,2900是一款高效可靠的快速散熱處理器,非常適合高級原型開發、工藝設計和商業生產要求。它具有廣泛的高級過程控制設置、溫度均勻性、氧氣流入調節和數據記錄功能,允許用戶高效優化流程以獲得最佳結果。