二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9278283 待售

ID: 9278283
Rapid Thermal Processor (RTP).
SteamSTEAG/MATTSON/AST 2900是一種快速熱處理工具,在非常低的循環時間內提供超精確的熱循環和快速的溫度傾斜。這臺設備可以在3至10秒內達到200至1000 °C的設定點,同時保持1°C的精度。這允許精確的溫度剖面校準和控制,這在傳統的爐竈或烤箱系統中幾乎是不可能的。該系統是分子束外延、金屬有機化學氣相沈積、材料研究、半導體互連、先進金屬-絕緣體-金屬互連等RTP應用的理想選擇。SteamAST 2900利用先進的PID曲線學習算法來規劃最佳溫度斜坡時間,並在給定溫度下提供超低循環速率。先進的控制單元可實現整個過程的最高溫度穩定性和準確性。此外,該機器還配備了一個獨立的氣體輸送工具,最多可配置三個通道,用於各種氣體,包括氫氣、氮氣、氙氣和其他氣體。控制資產還允許對氣流和壓力進行非常微調。SteamSTEAG 2900的熱循環不需要任何硬件修改或後工藝工程。此模型使用自動化流程來創建最符合該流程用戶規範的溫度配置文件。由於其先進的熱區設計,該設備在整個過程中還提供了出色的溫度均勻性。該系統還具有一個令人印象深刻的顯示屏,它以圖形方式表示了整個過程中的溫度概況以及氣體流速等其他數據點。顯示器還提供高級後處理功能,如關鍵數據點的實時分析、圖形和統計分析工具以及存儲和共享結果的能力。總體而言,Steam2900是一款功能強大的快速散熱處理器,提供卓越的溫度穩定性和準確性、超快的循環時間以及用戶友好的功能,使其成為生產半導體和光伏設備的理想工具。
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