二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776 待售

STEAG/MATTSON/AST 3000 plus是一種快速熱處理器（RTP）,它利用從室溫到1500˚C的各種溫度組合。這項技術用於半導體器件制造，因為它能夠在預定的溫度和時間尺度下進行熱處理。該RTP采用模塊化方式，由三個組成部分組成，包括高級工藝控制、魯棒熱室和高效對流系統。Advanced Process Control允許對精確的溫度程序進行編程以獲得所需的結果。它在較短的樣品處理時間內提供精確的溫度測量，最大限度地減少樣品中的殘余應力，並允許由於其高熱精度而產生可重現的結果。堅固的熱室包括一個大的高性能加熱區，一個可移動的墻壁確保均勻的熱處理，其相互連接的部件允許在寬廣的溫度範圍內編程過程控制能力。最後，高效對流系統允許在高溫下快速進行熱過程，而不會引入任何運動偽影。AST 3000 plus允許非常精確和一致的高速率處理。設備的適應溫度範圍允許它用於各種應用,如晶圓沈積/蝕刻、設備制造和ALD/CVD工藝。高速率處理和改進的熱系統使得該RTP成為任何需要精確和可重復熱處理的組織的理想選擇。此外,此設備能夠長時間保持高溫,而不會影響操作員的安全。