二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293615440 待售

ID: 293615440
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"-12" (2) FOUPs (3) Cassettes, 8" (2) Combined and integrated SMIF, 8"-12" (3) Side panels (3) Upper quartz plates (2) Linear plates (8) Gas distributors (4) Air bearings (2) Roter, 12" Ring carrier, 8" Rotor plate, 8" Rotor, 8" Ring deflection frame Chamber U, Q, P Static with ring tilt Blower: 0.93 m² Pyro chiller SIEMENS DC Power supply, 24 V Process module Power control module: 1.04 m² Computer electronics Footprint, 4.19 m² Rack Da-Karte HDD CPU MUX-DAC-DSP PyRi-PCC Netzteil 2x15V Netzteil 5V Netzteil ±12V/5V Netzteilter C64-Busplatine ISA 36 Bus 3 Slot Wafer handler module: I/O Controller Distribution box Gas cabinet: Pressure: 6 Bars Purity N2: >99.9999% Purity O2: >99.9999% Gas / Flow rate: O2 / Ar / 50 SLM NH3 / 30 SLM H2 / - O2 / 5 SLM O2 / 60 SLM N2O / 30 SLM N2 / 100 SLM Missing parts: Robot Aligner Pyrometer Control Oxygen sensor PCU Parts PWM / POD boards.
STEAG/MATTSON/AST 3000是一種快速散熱處理器,它為精確和精確的散熱管理過程提供最高級別的性能。該處理器專為高精度、高速熱處理而設計,以滿足各種應用程序的需求。它具有廣泛的特點,包括多個溫帶、高分辨率熱流監測、精確的溫度控制。處理器可以手動和自動兩種模式進行控制,以適合任何應用程序。溫度區可以根據應用的需要進行編程,並具有精確的溫度控制,確保在整個熱過程中保持正確的溫度。處理器還有一個高分辨率的熱流監測系統,允許精確控制系統內的熱流。處理器還具有強大的設計,可以在惡劣的環境中工作。它可以使用多種材料,包括金屬和塑料,在這些材料中提供精確的熱處理。處理器還具有優化的傳熱系統和較大的冷卻能力,確保材料在適當的溫度下處理。AST 3000在各種熱過程中提供了高精度和精確度。處理器還具有經濟效益,為各種應用程序提供了理想的解決方案。處理器可用於多種工藝,包括金屬、塑料和半導體器件的熱處理。處理器也是產品制造中材料加工的理想選擇,確保保持最高精度。STEAG 3000是一系列需要精確熱處理的應用的絕佳選擇。處理器設計為提供精確準確的熱管理過程,允許在各種應用中實現最高級別的性能。處理器還具有經濟效益,為各種應用程序提供了理想的解決方案。
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