二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293621528 待售

STEAG / MATTSON / AST 3000
ID: 293621528
Rapid Thermal Processor (RTP).
STEAG/MATTSON/AST 3000是一種快速熱處理器,用於對各種尺寸的基板進行高效、均勻的加熱。此設備是一個四區快速熱處理器,具有高達1000攝氏度的溫度範圍、+/-1攝氏度的溫度均勻性以及高達10攝氏度/秒的加熱速率。通過高溫和均勻性、短編程時間和靈活性的結合,這種設備提供了一種有效的熱處理方法。AST 3000的四區設計允許不同區域獨立加熱或組合加熱,增加了設備的靈活性。頂部和底部的熱頭包括溫度感測元件,這些元件向控制系統提供反饋,從而可以準確地維護和監控溫度。垂直腔室配有一個氮氣凈化端口,允許各種大氣,包括惰性選項。有一個可選的加熱器,它提供一個爐子環境的選項.利用先進的探針和傳感器以及先進的控制系統可以實現高度精確、可重現和均勻的熱處理。這款快速熱處理器還具有直觀的操作員界面,具有一系列參數,包括溫度、速率和溫度持續時間,以及惰性大氣處理程序的其他用戶定義過程和氣壓。STEAG 3000具有易於使用的觸摸屏控制器,允許自定義處理以滿足各種要求。這種直觀的控制系統能夠執行復雜的高溫過程,控制多個過程參數,並提供數據記錄和過程優化。總體而言,MATTSON 3000的功能使其成為任何需要快速、均勻和高溫加熱基板的應用的理想選擇。這種用途廣泛的設備旨在提供精確的熱處理,並提供無與倫比的可重復性和靈活性。
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