二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是專為生產級半導體器件制造而設計的快速熱處理器。它旨在盡可能縮短循環時間,同時保持處理過的設備的質量。AST 3000采用了預調整室,該室設計用於快速、精確地加熱和冷卻所需的基材,以滿足高通量要求,而不會影響性能。機器能夠將基板加熱至1250C的溫度，以適當刺激設備制造所需的反應。STEAG 3000采用高溫環境，最大限度地減少由長周期時間造成的設備損壞。這是通過利用多段熱程序將熱剖面連續微調到該過程所需的精確溫度來完成的。溫度控制器還可以防止熱過火造成基板沈積或氧化。3000利用雙射頻電源,在兩個頻率之間快速切換,以實現最大的熱均勻性。MATTSON 3000還具有內置的過程監控系統,該系統可不斷檢查每個基板的狀態,以確保盡可能高的吞吐量。這包括在整個過程中持續監測基板溫度、氣流和壓力。該系統還包括高精度計量工具，以確保滿足所需的過程結果。STEAG/MATTSON/AST 3000附帶了一系列用戶可編程選項,這些選項允許在不同的機器之間輕松傳輸過程配方。這使得多種流程方案成為可能,並有助於確保跨多臺計算機的流程可重復性。此外,AST 3000還可配備各種邊緣隔離選項,包括氮、氦和氯隔離,以確保高產量。總體而言,STEAG 3000是一款功能強大、可靠且高效的快速熱處理器,非常適合生產級半導體器件制造。它提供了易於使用的用戶界面以及可自定義的頂級性能和輸出流程配方。它的許多特點，包括溫度控制和過程監控，使其成為繁忙的半導體制造商的絕佳選擇。