二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是一款先進的快速熱處理器,旨在在短周期內提供可靠的處理結果。它具有高溫、高功率的加熱能力，能夠在不到十秒鐘的時間內將三個150毫米晶圓載流子加熱到高達1100 °C的溫度。使用較大的晶片表面積會產生極其均勻的加熱效果,而使用最新的快速「冷卻」技術則可確保過程之間的快速周轉。這個先進的快速熱處理器利用三個區域；高溫、中溫和低溫室系統，旨在提供均勻的溫度和溫度壽命，進一步提高加熱功能的可靠性和準確性。其低漂移和低熱梯度確保零件被精確和精確地加熱到所需溫度。除了提供高溫、高功率處理外，AST 3000還提供過程監控功能，確保過程溫度和時間控制到非常精確的水平。它還具有精確的時間溫度監視器,使用戶能夠考慮與每個過程關聯的時間溫度數據。此外,該設備還能夠對最多999個腳本進行編程,這些腳本可以存儲在預編程過程中使用。STEAG 3000的堅固設計確保了它的可靠性和低維護要求。其不銹鋼加工室耐腐蝕耐磨，該裝置不需要工藝沖洗或水再循環。此外,用戶友好的LCD觸摸屏顯示屏可以清晰監控快速散熱處理器的狀態和設置,並提供一系列功能,方便快速輸入、操作和存儲數據。此外,MATTSON 3000還配備了與安全相關的功能,如門聯鎖、晶圓載體聯鎖、溫度過高聯鎖、超壓警告等。這樣可以確保操作員放心,在執行關鍵操作時設備將保持穩定和可靠。總體而言,3000是一款先進的快速散熱處理器,旨在滿足現代工業生產的苛刻需求。它結合了高溫、高功率加熱能力和過程監控能力、用戶友好的液晶觸摸屏顯示屏，以及高可靠性和安全相關功能，使其成為任何生產環境下都有吸引力的設備。