二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是一種快速熱處理器（RTP）設備，用於處理半導體晶圓。這一通用系統旨在提供高度均勻的溫度控制和精確設計的熱過程，以成功地註入離子，以及廣泛的其他半導體和光電應用。該裝置非常適合用於生產基線工藝的開發，保證了快速熱退火（RTA）的精確溫度環境以及重摻雜矽材料的爐退火。該機器在各種溫度範圍內提供高速加熱和冷卻能力。使用旋轉敏感器可確保樣品內熱量的均勻分布。它能夠維持高達1150°C的溫度。溫度均勻性保持在+/-2°C,並在晶圓的頂部、中間和底部表面進行測量。該工具還具有實時監控功能，以確保快速響應時間。總體而言,AST 3000為生產和開發過程提供了全面的熱處理能力。它具有堅固的腔室結構，旨在確保易於維護，以及用於精確溫度控制的可靠電子設備。它與各種環境和工藝配方的兼容性使資產對研究實驗室和加工中心都具有吸引力。該模型因其獲得專利的軟件算法而進一步脫穎而出，該算法提供了先進的溫度補償，並在整個晶圓上保持了均勻性和準確性。STEAG 3000帶有有限的3年保修,包括遠程計算機界面和圖形用戶界面（GUI）。這樣就可以與工廠自動化系統完全集成,並能夠在本地和遠程訪問設備。RTP還配備了診斷和故障管理功能，在需要時便於檢測、診斷和執行糾正措施。總而言之，MATTSON 3000是一款先進的快速熱處理器，適用於各種半導體和光電應用。它強大的設計、精確的溫度控制、實時監控以及與各種環境的兼容性,使其成為生產和開發過程中的一個有吸引力的選項。