二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637 待售

STEAG/MATTSON/AST 3000是一種快速熱處理器（RTP），用於處理具有高重復性和精確度的半導體晶片。這種先進的系統專為制造高質量和可靠的集成電路（ICs）而設計,即使是最復雜的設備也非常適合處理。該RTP由加熱室、溫度控制器、裝卸站、保護外殼、晶圓傳輸機器人和晶圓卡盤等幾個主要部件組成。AST 3000主加熱室由不銹鋼制成，具有良好的熱穩定性和均勻的溫度分布。其溫度範圍為-70 °C至1000 °C，加熱和冷卻速率高達200 °C/秒。RTP被封閉在自己的保護櫃中，以確保操作和維護人員的安全。溫度控制器被編程為精確調節腔室溫度曲線，並在一次運行中運行多個坡道溫度。處理器操作簡單直觀,配有LED顯示屏和用於輸入命令的完整QWERTY鍵盤。控制器還配備了冷卻和工藝氣體流動傳感器，以實現精確可靠的性能。除了加熱和冷卻元件外，STEAG 3000還設有晶圓裝卸機械臂。該臂被編程為將晶片從存儲托盤移動到晶片卡盤，反之亦然。晶片卡盤經過特殊設計,可確保晶片的安全處理,在快速加熱過程中提供支持和對準。為了提供額外的保護，晶片進一步用通風的蓋子固定，該蓋子還起到濕度和顆粒屏障的作用。MATTSON 3000是一個高級RTP系統,旨在實現最高的效率和可靠性。其堅固的結構確保了均勻的加熱、冷卻和晶圓處理，使其成為那些尋求高質量IC制造的人的理想選擇。