二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9262640 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是為高性能應用而設計的快速熱處理器（RTP）。是一種先進的熱處理系統，利用紅外燈和熱氣相結合的方式，快速提升和降低基板或其他材料的溫度。使用AST 3000,用戶可以在傳統方法要求的時間的一小部分內達到廣泛的溫度範圍。STEAG 3000的設計具有兩個腔室的獨特配置：一個冷區腔室和一個熱區腔室。冷區室位於設備的上半部，是供熱制冷的活躍區域。腔室設有直接加熱的紅外燈、可編程用於各種氣體混合物的氣流系統以及低溫冷卻的低溫儲藏。熱區室位於設備的下半部分，用於退火和熱處理基板。熱區室裝有類似窗簾的防輻射罩和加熱元件以及一系列耐熱光學窗。3000的軟件包括用戶友好的圖形控制,可以清晰地顯示熱過程。該軟件能夠對溫度曲線和控制參數進行高效和可重復的編程。MATTSON 3000還配備了實時溫度監測系統，可以對工藝參數進行全面表征和優化。STEAG/MATTSON/AST 3000是快速熱處理的可靠工具。它能夠在傳統方法要求的時間的一小部分內加工材料，而且它的設計允許精確和可重復地控制加熱和冷卻速率。這個先進的工具提供了一個快速和可靠的方式來處理晶圓和其他基板有極端的溫度變化。