二手 STEAG / MATTSON / AST AST 280 #293651451 待售
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STEAG/MATTSON/AST AST 280快速熱處理器是一種高性能的工具,可快速、準確、高效地處理各種材料。它是一個多功能、低成本的系統，結合了精密的軟件控制系統、超快的熱處理以及精密的基板和晶圓加熱。AST AST 280利用快速熱加熱（RTH）技術使基板和晶片的快速精確加熱成為可能。此RTH過程從快速預熱循環開始,以確保基板或晶片均勻回火。接著是一種脈沖加熱形式，在一系列非常精確控制的步驟中加熱基板或晶片，使每一層和材料都能用最佳處理所需的確切能量進行處理。STEAG AST 280確定每個步驟的精確溫度曲線的能力確保了更準確和可重復的結果。AST 280還配備了高端控制系統，利用從基板或晶圓收集的智能反饋準確控制每個循環的溫度。這提供了整個樣品表面和厚度的卓越均勻溫度水平。還消除了「熱點」的可能，確保熱處理一致可靠。MATTSON AST 280還具有高級控制算法,可在加熱周期之間以最小的停機時間實現可重復的過程步驟。它還保證保持熱分布在基板或晶片的寬表面平衡。該系統具有快速啟動功能,只需幾分鐘即可達到所需溫度。STEAG/MATTSON/AST AST 280可以處理多種材料，包括用於半導體和照相加工、薄膜沈積和生物化學應用的材料。也用於製造印刷電路板、激光器等產品。AST AST 280的設計考慮了人體工程學,它具有小巧輕巧的設計和直觀的用戶界面,易於使用。該系統易於維護，使其成為工業和教育應用的可行選擇。此外，其保質期長，運營成本低，是研發實驗室的理想選擇。
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