二手 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #293820854 待售

STEAG / MATTSON / AST AST 2900
ID: 293820854
Rapid Thermal Processor (RTP).
STEAG/MATTSON/AST AST 2900是一種常用於半導體製造的快速熱處理器。AST 2900提供高級熱處理功能,旨在滿足業界要求最苛刻的封裝、晶圓級和3D應用程序的需求。隨著溫度均勻性的提高和溫度範圍的擴大,STEAG AST2900被設計為提高產量和提高吞吐量。STEAG/MATTSON/AST AST2900可輸送溫度從-60°C到超過1000°C。設備還配備了先進的晶圓識別系統,能夠快速識別和處理高達600mm的晶圓。通過高熱性能和快速晶圓識別相結合,MATTSON AST2900可以實現快速處理時間,讓用戶效率最大化。AST2900還提供了先進的熱均勻性,以實現均勻、可重復的處理結果。STEAG/MATTSON/AST 2900配備了能使溫度適應晶圓邊緣的高級動態均勻性優化(DUO)單元,以及低熱變化檢測機,以提高準時測量的精度。這些技術確保了整個過程中均勻的晶圓溫度。AST AST 2900也很靈活,有一系列的工藝配方和能力。2900可以處理LED、邏輯、內存和電源設備,以及從6「到12」的各種晶圓大小。該工具還可以配置多個獨立的處理室,以實現並行處理功能。AST AST2900還與N2、O2、SF6、氦等多種工藝氣體兼容,允許廣泛的處理能力。STEAG 2900是一種可靠、靈活、先進的資產,可以滿足半導體行業的需求。它具有廣泛的功能和先進的功能,是要求苛刻的晶圓處理應用的絕佳選擇。MATTSON AST 2900憑借其溫度均勻性、快速性能、靈活的配置,是一個出眾的選擇。
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