二手 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #9266541 待售

STEAG/MATTS/AST AST 2900是一種高性能快速熱處理器（RTP），設計用於半導體晶片的高級處理。它能夠在外延生長、摻雜活化和退火等應用中提供卓越的熱能和速度性能。AST 2900能提供無與倫比的溫度控制精度和重復性，使處理具有很高的可靠性和可重復性。它是一種水平安裝的設備，配有獨特的守衛加熱器設計，確保整個晶圓直徑均勻均勻加熱。STEAG AST2900能夠在保持良好的熱調節的同時,加熱速率高達5°C/秒,冷卻速率高達30°C/秒。STEAG 2900具有氣體輸送系統，具有快速交換歧管和質量流量控制器，允許客戶使用各種氣體進行各種處理。為確保操作過程中的安全,STEAG/MATTSON/AST 2900具有接地故障中斷器和具有自動關閉功能的兩級安全閥控制系統。MATTSON AST2900還配備了最先進的計算機控制單元，為用戶提供自定義溫度配置文件和設定點以及監控機器和驗證操作條件的能力。AST AST 2900是一款先進的快速熱處理器,具有出色的溫度精度和可重復性。它具有快速加熱和冷卻速率、精確的氣體輸送以及強大的安全工具。由於擁有計算機控制資產，用戶可以靈活地自定義參數以適應高級流程。MATTSON AST 2900是半導體加工和外延生長、摻雜活化、退火等先進應用的理想選擇。