二手 STEAG / MATTSON / AST AST 3000 #9103112 待售
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ID: 9103112
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
Single chamber
(3) Loaders
(3) Unloaders
2000 vintage.
STEAG/MATTS/AST 3000是一種快速熱處理器(RTP),設計用於半導體的大規模熱處理。RTP是一款具有高速、高精度溫度控制的可擴展、經濟高效的設備。該裝置為技術人員提供各種工藝條件,最多可容納三種基材。RTP利用有效的加熱元件和數字溫度控制器在整個過程中實現均勻的溫度。系統內置的單元一致性功能確保了過程的可重復性和可靠性。該工藝室的設計旨在減少汙染,並允許受控的加工條件,如壓力和氧氣水平。RTP配備了一臺健壯的監控機器,跟蹤溫度、壓力和氧氣水平等處理參數。該工具的高級控制資產使操作員能夠精確地控制過程,從設置腔室溫度到調整加熱速率和冷卻速率。控制模型也是自動化和交互式的,使操作員能夠實時設置和調整控制面板上的所有處理參數。RTP利用用戶友好的圖形用戶界面(GUI),使操作員能夠方便地監控進度和過程參數。此外,設備還提供了一系列配方,使操作員能夠根據特定應用程序的需要快速調整設置和參數。RTP的詳細監控系統和可編程性使其成為處理半導體晶片的可靠有力的工具。通過促進簡化和可重復的輸出,RTP有助於提高產量、減少錯誤和提高效率。該單元具有很高的可擴展性,可適應工藝轉移,為多種基材和晶圓尺寸提供靈活性。
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