二手 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578 待售

STEAG/MATTS/AST Atoms是一種快速熱處理器（RTP），用於半導體工業中，用於薄膜沈積、氧化、退火和金屬濺射沈積等工藝。該設備采用了一系列專門的溫度控制技術，以極好的均勻性快速達到所需溫度。該系統配備了石英垂直管爐（QVTF）和向上或向下的氣體流動能力，這兩者都有助於確保整個感興趣區域的統一和準確的溫度控制。QVTF是一種垂直石英管，其獨特的設計方便了晶圓或其他基材的高效加熱和處理。立式管式爐安裝在低熱質能平臺上，提供優異的溫度均勻性和快速的溫度變化率。一個空氣強制對流（AFC）模塊也包含在單元中。AFC模塊將氣流和有限的氣流結合在一起，提供所需的基板加熱。與傳統系統相比，當處理過程中在基板周圍產生湍流時，這增強了過程中的溫度均勻性。機內溫度的控制和監控是通過包括高功率放大器、微處理器、熱電偶、溫度傳感器和高級軟件程序在內的一系列先進組件完成的。這些組件在控制溫度時提供極好的精度。AST Atoms提供多種溫度配置文件,包括單區域處理、最多八個受控區域以及多達200種配置。在一個平臺上同時運行不同處理程序的可能性使得該工具非常適合多種處理需求。此外，STEAG Atoms提供了出色的熱均勻性，其精確的溫度控制使其成為性能最好的RTP系統之一。