二手 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9353268 待售

STEAG/MATTSON/AST Atoms是一種快速熱處理器,它使用革命性的、先進的、超純的高溫退火工藝來提供有效和一致的熱處理,以提高性能。它采用高精度、數控加熱設備，在前所未有的溫度範圍內提供精確的溫度循環。快速熱處理器具有廣泛的特性和功能，包括優越的穩定性、可調的工藝時間、兩個獨立的溫度控制回路以及先進的背面晶圓溫度測量系統。AST Atoms處理器使用數控非接觸式電阻加熱單元，在不到九秒的時間內將矽晶片的表面快速加熱至所需溫度。機器的工作原理是使用電纜在晶圓中產生渦流，然後用感應加熱工具進一步加熱。這兩種方法協同工作，快速一致地達到所需溫度。STEAG Atoms處理器有兩個獨立的溫度控制環，它們並行工作，以確保在熱處理過程中晶圓的有效和最佳溫度控制。第一個環路是比例積分導數控制器，第二個環路是自動調諧控制器，使設定點的控制更加平滑。這樣可以確保晶片快速且均勻加熱到持續控制的溫度,而無需手動調整或幹預。原子處理器還通過晶圓尾夾模型使用先進的背面晶圓溫度測量資產。其設計目的是在熱處理過程中快速測量晶片的溫度，有助於確保精度和一致性。背面晶圓溫度測量設備的設計也非常快速和準確,即使在超過400 °C的溫度下也是如此。MATTSON原子快速熱處理器是一個驚人的工具,它使制造商能夠通過快速熱處理生產出非常精確和一致的組件。STEAG/MATTSON/AST Atoms處理器以其強大的特性、卓越的穩定性、可調的工藝時間、雙溫控回路和先進的晶圓溫度測量系統相結合,是一款在速度和性能上都脫穎而出的強大工具。