二手 STEAG / MATTSON / AST Helios 6000 #9211048 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios 6000是一款高性能快速熱處理器（RTP）,它采用了成熟的先進技術和組件的獨特組合。此高端工業級解決方案專為半導體晶圓工藝控制工程師和需要快速熱處理的各種應用而設計。AST Helios 6000采用工程設計的開放式、無中心感知器設計,可在寬闊的工作區內實現更快的流程周期和最大的均勻性。其結果是最佳的吞吐量和優越的基板加熱.STEAG Helios 6000還提供了先進的熱控制,具有直接的數字反饋和實時的溫度采樣,從而產生了具有可重復結果的一致熱過程。該設備包括先進的單區自動水平感測和調平系統，確保晶片在加工區內始終牢固地保持，提供卓越的熱均勻性。Helios 6000還包括一個高速數字I/O子系統,它提供對設備操作的全面控制,並便於與主機進行通信。先進的數字控制和反饋功能允許用戶設置改進的熱處理參數,以及通過基於瀏覽器的用戶界面從遠程位置監視和控制該過程。MATTSON Helios 6000具有先進的集成過程控制工具和直觀的操作員界面,可簡化操作。資產的內置配方和過程控制功能允許用戶存儲各種不同流程的配方庫並開發自己的自定義配方。除其他功能外,這為自動化配方提供了無限的可擴展性和靈活性。STEAG/MATTSON/AST Helios 6000還支持與外部系統的流程集成,以進行故障排除、報告和其他要求。AST Helios 6000旨在實現最大的可靠性和過程重復性。它提供高達8.2英寸的寬工作區容量,支持單面和雙面基板加熱。該模型配備了先進的氣體/流量調節器,以確保工作空間內的最佳氣體/流量分布,而介質擋板組件則有助於均勻地分配介質流量並實現溫度均勻性。總體而言,STEAG Helios 6000是一款先進可靠的快速散熱處理器,提供卓越的散熱性能和過程可重復性。其強大的體系結構和獨特的設計為各種應用程序和過程控制需求提供了極致的性能、靈活性和可擴展性。