二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593150 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一種快速熱處理器（RTP），用於制造半導體器件、薄膜和納米技術等應用。這種設備使用氮氣或幹氧的氣氛在高溫下快速加熱樣品。該系統提供先進的過程控制,傳感器遍布整個腔室,用於監視關鍵參數,如溫度、壓力和氣體流速。AST Helios采用開載平臺設計，配有4英寸單晶圓伺服盤，允許整個腔室均勻傳熱。STEAG Helios可以實現低至十秒的熱循環時間，使得多個樣品能夠同時快速準確的處理。它利用屏蔽的內襯和外襯防止材料汙染和排出氣體。Helmios還使用了預熱、無反應性的石英室，以改善熱均勻性和表面附著力。此單元提供從室溫到1050°C （292°F）的精確溫度控制,精度高達± 1°C ± 1.8 °F）。用戶最多可編程40種散熱配方，最多可訪問5種設置點的實時模式操作並保持時間。該機還設有一個通用控制器界面，旨在支持大多數半導體行業軟件平臺，並具有14英寸顯示屏和直觀易用的圖形用戶界面。Helios的設計采用集成過程監控反饋系統和高達4.5 Torr的真空額定值。它還具有0.02 Torr/min的極低壓力上升速率，允許更精確的配方開發。MATTSON Helios還提供先進的安全功能,例如在緊急情況下停止整個工具的切斷開關。STEAG/MATTSON/AST Helios因其特性、靈活性和快速加熱能力，是半導體加工應用的絕佳選擇。它能夠處理復雜的過程，提供對溫度和壓力的精確控制，並得到全球領先的半導體技術研究中心的認可。