二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160 待售
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ID: 293593160
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
Missing parts:
Chamber:
PM1: (10) Board IGBTCB 40A Fuses
PM2: Door mechanics
PM1: MMC
PM2: MMC
PM1: 02 Sensor
PM2: 02 Sensor
PM1: Rotation controller
PM2: Rotation controller
FI: Robot controller, CURR: RR717
PM1: Pyro chiller
PM1: Ring tilt mechanism lift unit
PM2: Ring tilt mechanism lift unit
FI: RD Cable
FI: Sequencer
2008 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速熱處理器,非常適合焊接、模具粘合和環氧固化等制造工藝。該系統能夠在幾秒鐘內施加功率和溫度調節,為關鍵的裝配過程提供卓越的速度、準確性和靈活性。AST Helios是一種單晶片光刻處理器,帶有機械臂,可以將基板移入和移出腔室。室內充滿惰性氣體,如氮氣,以維持低氧環境。此外,一系列車載傳感器密切監視環境溫度和壓力,並允許進行精確調整。為了開始加工,晶圓被放置在腔內,然後機械臂被移動到所需的位置。設置監控溫度和壓力設置,然後激活精確電阻加熱器。此過程允許在基板上均勻加熱並產生可重復的結果。STEAG Helios處理器非常適合需要快速熱處理的各種流程。例如,在焊接過程中,基板通常會暴露在高達350°C的溫度下幾秒鐘。這可以用Helios處理器通過快速冷卻和加熱基板來實現,實現快速、準確和可重復的焊接過程。該系統還可用於模具粘合和封裝等固化應用。一系列紅外發射器可以用來快速加熱和固化一層環氧樹脂,同時在整個底物上保持均勻的溫度。總體而言,MATTSON Helios是一款出色的精確散熱處理器。它非常適合焊接、模具粘合和環氧固化等關鍵組裝工藝,以及快速熱退火等其他短期工藝。機載傳感器、快速散熱能力和精確加熱器可在整個基板上提供統一的加熱和溫度控制,並確保可重復、準確和可靠的結果,使制造商在高容量、高精度生產時安心。
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