二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #293624124 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一種用於半導體制造的快速熱處理器（RTP）。該裝置用於在處理過程中快速均勻加熱半導體元件，如晶體管和電路板。該裝置利用感應爐快速均勻加熱部件。其先進的熱剖面控制提供快速、均勻的加熱，以維持所需的溫度控制。AST Helios還有一個內置的註氣設備，用於氮氣、氙氣和氫氣，允許快速控制大氣控制。該裝置最高溫度為1250攝氏度，在晶片上提供均勻加熱。這提供了一個平滑和均勻的熱梯度橫跨基板。它具有均勻的斜坡上升和冷卻速率，可以更好地控制熱循環。該系統提供動態溫度控制,可達到的最大坡度速率為每秒350°C。這樣可以快速熱處理元件,而不會損壞元件。STEAG Helios能夠在處理過程中測量和記錄數據點。它還有一個綜合數據采集單元，允許在整個過程中持續監測。該數據采集用於保證晶片的最佳均勻性和溫度控制。該設備配備了各種各樣的用戶友好控制,從基本的「一鍵式」操作到全方位的電源、時間和溫度控制功能。MATTSON Helios還包括許多高級功能,如多個設定點、警報功能、操作員訪問控制和「FAF-Trace」（柔性非對稱填充）功能。後者允許機器動態地調整熱斜坡的參數，從而可以根據晶圓的特定要求量身定制工藝。Helios既通用性又易於使用。它專為易於操作而設計,其直觀的控制允許快速驗證和過程設置。該設備與大多數現代半導體處理設備兼容，允許高度集成和自動化處理。總體而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款有效的快速熱處理器,旨在滿足當今半導體制造工藝的需求。其快速加熱性能和先進的熱控制能力提供了現代半導體工業所需的精度和多功能性。