二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9211046 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速熱處理器（RTP），旨在實現高速、高可重復性和低成本熱處理。它通過一系列高功率鹵素燈、石英電極和可調加熱器快速控制給定樣品的溫度。AST Helios利用先進的數字控制器來設置所需的溫度配置文件,並確保樣品暴露於精確和一致的溫度下。該控制器使用PID（比例、積分和導數）算法，使機器能夠非常精確地調整樣品的溫度。STEAG Helios可以處理尺寸達70 x 85mm的樣品，最高溫度範圍為30至1400 °C。它能夠達到高達2000 °C的溫度，但這是通過定制的烤箱附件完成的。RTP具有多種預先編程的設置,可快速獲得復雜的溫度配置文件。利用特殊的熱控室快速改變樣品的設定溫度。通過控制氣體流入樣品室內，用戶可以在短時間內獲得準確的結果。此外，Helios允許快速的樣品裝卸。它有一個特殊的傳輸階段，可以處理多達6個具有上述樣品大小的晶片。此階段提供了示例的自動加載和卸載,從而減少了用戶所需的幹預量。MATTSON Helios的高溫精度、快速的溫度循環、可調的溫度範圍使其成為退火、燒結、擴散、聚酰亞胺蝕刻等眾多工藝的理想工具。它的自動化加載和易於使用的界面使它能夠在工業和研究實驗室中使用。總之，STEAG/MATTSON/AST Helios是一種高度精確和可重復的RTP。其用戶友好的設計和多用途的特性使其非常適合各種熱處理應用。