二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9228858 待售

STEAG / MATTSON / AST Helios
ID: 9228858
Rapid Thermal Processing (RTP) system.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速熱處理器(RTP),專為各種樣品類型的高通量、大容量處理而設計。它具有低循環時間和對熱過程的精確控制,使其成為光伏、LED、高壓電子、無源和有源器件制造以及許多其他應用的理想工具。AST Helios RTP的工作原理是將樣品均勻加熱和冷卻至預定溫度。樣品架被高精度石英紅外加熱帶和水冷敏感器包圍,允許精確的溫度控制和快速的響應。感光器充當樣品支架和石英紅外加熱帶之間的絕緣層,確保樣品支架及其內容物的均勻加熱。STEAG Helios RTP具有用戶友好的自動化和較低的設備復雜性。它的垂直設計可以方便地接觸樣品支架,並且設備本身配備了幾個用於氣體或真空連接的端口。此外,RTP能夠存儲多達64種配方,允許用戶快速準確地重復流程。MATTSON Helios RTP是一個高度精確可靠的系統,溫度均勻度為+/-1 °C,坡道速率為750°C/minute。其12千瓦的高額定功率保證了快速的熱過程,並通過特殊的補償算法確保了其可重復性。該機組還配備了多項安全功能,包括過溫防護、緊急停車和電源監視器。總而言之,Helios是高通量應用的理想散熱處理器。其精確的溫度控制、較低的機器復雜度和先進的安全特性,使其成為一種非常可靠和可重復的工具,使其成為各種制造工藝的絕佳選擇。
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