二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199 待售

ID: 9241199
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Rapid Thermal Processor (RTP), 12" 2006 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一種快速熱處理器,既用於通用處理,也用於專用應用。它能夠在短時間內將材料快速加熱到高溫,同時提供準確的溫度分布。AST Helios利用各種射頻發電機和開關設備以恒定或編程速率快速加熱到精確溫度並循環運行。利用熱電偶和光發射光譜對過程進行監測,以確保達到正確的溫度。為進一步提高精度,采用導熱陶瓷鏡反射射頻發生器產生的紅外輻射。精確的溫度控制加上高熱通量速率,使得STEAG Helios處理材料的速度比其他許多熱處理方法都快。這樣可以縮短周期時間並提高吞吐量。此外,還可用於低溫活化退火、擴散結合和擴散塗層等工藝。Helios的模塊化設計允許定制配置,使其能夠廣泛應用,包括半導體制造、微電子制造和催化表面修改。它的控制系統也是高度可定制的,使用戶能夠用不同材料的配方來編程定制的加工配方。MATTSON Helios還配備了額外的安全功能,以確保設備及其組件的安全運行。這些功能包括過溫和過流安全系統、緊急停止按鈕和高溫保護系統,以便在過溫情況下關閉射頻發電機和開關設備。STEAG/MATTSON/AST Helios是那些需要高精度和高質量處理的人的理想解決方案。它的模塊化設計和可定制性使其非常適合廣泛的應用。此外,其嚴密的溫度控制和高熱通量使其成為最有效的快速熱處理器之一。
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