二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款快速熱處理器（RTP），為半導體器件制造提供高溫加熱解決方案。RTP能夠在幾分鐘內快速改變基板的溫度,從環境溫度變為設定的最高溫度。它的工作原理是利用基於輻射的基板加熱，在波長範圍內進行優化，以有效地產生所需的溫度。RTP也可用於基板的退火處理，因為它能夠在整個基板上產生溫度剖面。AST Helios設備由三個部件組成：微波發電機、微波天線和反作用室。發電機包含將電力轉換為微波所需的組件，然後從天線輻射到反應室中。在反應室內，有一組石英反射器將微波聚焦在基板上，調節基板的能量吸收。石英反射器以減少非均勻能量吸收的方式排列，在整個基板上提供均勻的溫度輪廓。為了精確控制溫度,STEAG Helios系統配備了自動溫度控制器.這會自動調整微波發生器的功率，以維持所需的溫度。該機組還使用質量流控制器控制加熱氣體的流量進行冷卻。這樣可以快速冷卻基板,從而防止設備過熱和熱損壞。Helios機器是一種高度可靠和高效的快速熱處理器。它能夠在整個基板上提供均勻的溫度分布，是電子設備快速熱退火的理想選擇。此外，其精確的溫度控制和高效的冷卻使制造商能夠以高效和經濟高效的方式生產高質量的設備。