二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9256880 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一種快速熱處理器（RTP），設計用於半導體晶圓的精密熱處理。它利用短脈沖微波、分級激光器或等離子體加熱來快速有效地執行熱工程如快速熱退火（RTA）、氧化和沈積等設備製造。AST Helios RTP專為研發和批量生產而設計,具有靈活可靠的溫度控制功能,適用於各種溫度,具有很高的可重復性。STEAG Helios RTP采用平面石英高強度燈技術,采用水平金屬鹵化物燈提供超高速熱處理,能夠提供強烈的帶外光譜,從而加快處理速度。它還具有可變角度反射器，將光引導到晶圓上。反射器角度的調整允許用戶將燈輪廓與晶圓位置和晶圓高度匹配，以獲得最大的均勻性。MATTSON Helios配備了先進的熱控制設備,以確保整個晶圓的精確溫度均勻性。熱管理系統包括紅外溫度傳感器、溫度反饋回路和快速作用溫度控制器。對於快速熱硝化（RTN）等強烈熱過程，Helios還具有溫度過沖保護功能，以確保操作員的安全。此外，利用多波長測量技術進一步優化了工藝性能，該技術使用晶片上儀器連續監測兩個波長。這確保了在整個過程中對溫度設定點的精確控制。STEAG/MATTSON/AST Helios還具有用於控制晶圓大氣的集成氣體輸送裝置。它支持各種氣體進行氧化、沈積和退火過程，並且可以修改以滿足客戶的要求。AST Helios還提供各種配件,使客戶能夠定制其流程。這些附件包括晶圓旋轉、臂伸展、成像系統以及溫度和氣體監測系統等。所有這些功能為客戶提供了無與倫比的靈活性和卓越的流程性能。總之，STEAG Helios是一種高度先進的快速熱處理器，設計用於半導體晶片的高通量和精確熱處理。MATTSON Helios結合了超快的加熱速率、精確的溫度控制和靈活的氣體輸送機,為各種熱過程提供了卓越的工藝性能。