二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270883 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是一款快速熱處理器（RTP），提供高速、精確的溫度控制。AST Helios采用對流、電阻加熱和通過輻射冷卻來快速加熱和冷卻晶片的組合。它具有三個獨立可控的腔室，允許更快的溫度處理樣品。采用具有智能微處理器控制邏輯的專利氮化物加熱元件，STEAG Helios能夠在最小的超調和熱CAE時間內實現精確的熱性能。MATTSON Helios旨在提供統一、可重復的溫度配置文件,以實現最先進的設備制造所需的高精度。溫度曲線的準確性和均勻性以發射輻射中可光學檢測的電阻模式為後盾。此外，太陽神能夠精確的溫度超調控制。STEAG/MATTSON/AST Helios可通過直觀的軟件界面進行編程,它還提供多種波形選擇,用於加熱和冷卻周期,以適應不同的設備類型。AST Helios旨在提供快速的加熱和冷卻時間，以最大程度地減少晶圓表面的熱應力。此外,STEAG Helios利用內部風扇提供良好的空氣循環和冷卻性能。MATTSON Helios具有節省空間的設計,並且可以輕松安裝在狹窄的空間中,使其成為研發和生產環境的理想選擇。Helios的設計也使得它的維護相對較低，並且可以方便地進入腔室進行維護。總體而言,STEAG/MATTSON/AST Helios是一款功能強大且緊湊的快速散熱處理器,可在各種環境中提供可靠、精確的溫度控制。AST Helios是研發和生產環境的理想選擇,可確保精確的溫度剖面和降低晶圓的熱應力,使其成為精密設備制造的重要工具。