二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios是一種快速熱處理器（RTP），設計用於小批量小批量加熱和冷卻晶圓樣品。這種RTP設備由四個部件組成：一個低壓室、一個爐組件、一個電場調制器和一個大氣壓力變化系統。低壓室提供溫度控制和幹燥的密封氣氛。爐的組裝使晶片樣品能夠均勻、快速地加熱和冷卻。它由多個加熱和冷卻的加熱器組成,這些加熱器由樣品的背板隔開以形成溫度曲線。這允許精確的溫度控制和分布在樣品上。電場調制器用於改變晶圓在樣品上的電場，以調節電子-空穴密度比。這樣可以確保對樣品應用均勻熱處理。最後，大氣壓力變化裝置能夠精確控制腔室壓力，從而準確控制冷卻或加熱過程。AST Helios能夠在不到2分鐘的時間內達到120-1000攝氏度的溫度。利用其SmartMonitor軟件，用戶能夠對多個處理配方和負載進行編程，以及直接或遠程監控流程進度。此外,STEAG Helios還具有多種安全功能,旨在保護用戶和樣品。其中包括惰性氣體填充連接、室內強制空氣冷卻、溫度報警器和煙霧檢測機。MATTSON Helios RTP工具具有多種優點,例如快速處理、樣品溫度接近均勻性、安全性增強和精確控制。這種快速熱處理器可用於半導體、材料研究、工藝開發、器件制造等多個行業。